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聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)
FIB 制样，FIB-SEM
赛默飞 Helios 5 CX
5个工作日
所在地区
  • 广东省
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服务保障

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检测范围

用于观察，分析，记录材料的微观形貌及微区成分分析，聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割，刻蚀及透射样品制备等工作。

样品要求

无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于4mm。

仪器参数

电子束分辨率≤0.6nm@15KV（最佳工作距离下）；
离子束分辨率（双束交叉点）≤2.5nm@30KV

仪器特色&服务特色

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