检测范围
Talos F200X G2可实现原子尺度结构解析与微区元素精准定量,广泛应用于材料科学、凝聚态物理、化学、催化、微电子、半导体、新能源、金属与失效分析等领域。
- 纳米颗粒、二维材料、多孔材料的形貌与尺寸统计
- 原子尺度晶体结构、缺陷、位错、界面与晶界分析
- 选区/纳米束电子衍射、物相鉴定与晶格参数测量
- 轻/重元素快速定量EDS面分布、线扫、点分析
- 薄膜、多层膜、异质结的界面扩散与元素偏析
- 电池电极、催化剂、光电材料的微结构—成分关联
- 半导体器件、先进金属的失效分析与工艺质控
样品要求
提供铜网、水和乙醇分散制样,其它溶剂需自备。 自备溶剂1mL足够
仪器参数
技术参数
- 分辨率与加速电压
- 加速电压:20–200 kV
- HRTEM信息分辨率:≤12 nm
- STEM分辨率:≤16 nm(X-FEG)
- 高压稳定性:≤1 ppm/10 min
- 电子枪与束流性能
- 电子枪:X-FEG高亮度场发射电子枪
- 枪亮度:8×10⁹ A/cm²·srad @200 kV
- 最大束流:≥50 nA @200 kV
- 束斑漂移:<1 nm/min
- EELS能量分辨率:≤8 eV
- 成像与探测系统
- 放大倍数:TEM 25×–05 M×;STEM 约330 M×
- 相机:Ceta S 16M,4k×4k,全帧最高40 fps
- STEM探头:HAADF、BF/DF、DPC/iDPC,支持轻重元素同场高衬度成像
- TEM/STEM模式切换热稳定时间:<30 s
- Super-X G2 EDS能谱
- 四对称无窗SDD探测器,收集立体角约7–0.9 sr
- 可测元素范围:B及以上
- 能量分辨率:≤136 eV(Mn-Kα,10 kcps)
支持快速点/线/面Mapping
- 样品台与自动化
- 多轴压电驱动样品台,全自动导航与漂移补偿
- 支持低温、原位气/液、加热/拉伸及3D断层样品杆
- 全自动化对中、消像散、聚焦与大面积拼图成像
- 兼容TEM/STEM/EDS关联表征与多设备数据融合
仪器特色&服务特色
配套FIB 制样切片机,专业的测试人员,保质保速。需要切片的样品要提前沟通是否能满足条件