纳米压痕仪（Nano Indenter）

压痕/划痕测试仪的基本功能是对材料的硬度、弹性模量、断裂韧性、蠕变、摩擦、磨损性能等进行测定，涉及的材料几乎涵盖所有的材料研究领域，包括薄膜和纳米材料

(1) 压入载荷量程：XP, 300mN；DCM II, 30mN；

(2) 压入载荷分辨力：XP, 50nN；DCM II, 3nN； High Load, 1mN。

(3) Z向位移分辨力：XP, 0.01nm；DCM II, 0.0002nm；

(4) 横向载荷量程：250mN。

(5) 横向载荷分辨力：2μN。

(6) X-Y平面扫描范围：Survey Scanning, 500μm×500μm；NanoVision, 100μm×100μm。

“纳米/显微/宏观”尺度的仪器化压入和划入，主要用于测试小块或薄膜样品的弹性模量和压入硬度、薄膜临界附着力和摩擦系数等。具有连续刚度测试模式、原位压痕形貌扫描、刚度扫描和快速压入测试等功能；并开发出镀层等膜基结合力定量表征等有效测试手段。