样图
样图
样图
收藏
仪器介绍
结果展示
样品要求
检测范围
蔡司Sigma 360扫描电子显微镜因其高分辨成像与多模式分析能力,广泛应用于材料科学、新能源、半导体、地质学、生物学、及工业生产质量控制等领域。
材料表面纳米级微观形貌的高分辨成像观察
二次电子成像,获取形貌衬度信息
背散射电子成像,获取成分衬度信息
微区元素组成定性分析与半定量分析(结合EDS能谱仪)
微区元素含量及分布的面扫描、线扫描、点扫描分析
材料断口分析与失效分析,研究断裂机理与微观缺陷
纳米颗粒的粒径测量与形貌表征
仪器参数
分辨率:二次电子分辨率 0.7 nm @ 15 kV,1.1 nm @ 1 kV
放大倍数:20×~1,000,000×,连续可调
加速电压:20 V~30 kV,步进10 V连续可调
电子枪:肖特基热场发射电子枪
最大探针电流:20 nA,稳定性优于0.2%/h
光阑:7孔电磁切换光阑
镜筒:具有电子束推进器,保证超低加速电压下获得小束斑和高信噪比
样品室尺寸:内部直径365 mm,高度275 mm
样品台:五轴电动优中心样品台,移动范围X≥125 mm,Y≥125 mm,Z≥100 mm,倾斜-20°~+90°,旋转360°连续
最大样品尺寸:直径不超过179 mm(标准),XY平面内可全部观察到直径235 mm样品
最大载样品重量:500 g
配备布鲁克能谱仪,可进行样品表层微区点、线、面元素定性、半定量分析
仪器特色
腾讯会议视频,实时观看样品真实情况。可以测试磁性样品,请务必注明磁性强弱
典型测试结果
测试效果图
测试效果图
测试效果图
样品要求
导电性差的样品可喷铂金;粉末,块体都可以