检测范围
该设备发射一束高能的入射电子轰击物质表面，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射，利用电子和物质的相互作用，获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、
仪器参数
二次电子像分辨率：1.3nm (20 kV) 1.5nm (15 kV) 2.8nm (1kV) 放大倍率： 12×～1000,000×牛津仪器Inca X-Max20能谱仪分辨率: 优于127eV (计数率1,000-100,000cps)；稳定性: 1,000cps—100,000cps 谱峰漂移
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