热场发射扫描电镜(无)
山东省计量检测重点实验室
FEI,NOVA NANOSEM450
山东省
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仪器参数

1.高真空模式分辨率:15kV时1.0nm  IkV时1.4nm(不采用减速模式情况下)。2.低真空模式分辨率:30kV时1.5nm   10kV时1.5nm(Helix探头) 3kV时1.8nm(Helix探头)。3.放大倍数范围:20~1,000,000倍  (据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准)。4.加速电压:0.1~30kV。5.能谱仪分辨率:127ekv。
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