电子探针显微分析仪(Electron Probe Microanalyzer)
同济大学
日本电子株式会社,JXA-8230
上海市
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分析仪器

检测范围

可实现40~30万倍的图像观察,空间分辨率5nm,可获取高品质的背散射图像(BSE)、二次电子图像(SE)和阴极发光图像(CL);波谱仪可定量分析Be~U常量元素。能谱仪可定性、半定量分析B~U元素。

仪器参数

二次电子图像分辨率≦ 6.0nm(钨灯丝),≦5.0nm (六硼化棶灯丝)。背散射电子像分辨率:≤20nm;检测元素范围:B~U;检测极限0.01wt%。
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