检测范围
本设备是在特定的真空环境下，采用电弧等离子体蒸发源，产生高能量高密度金属等离子体，在工件负偏压的作用下，可在金属、陶瓷等表面镀制金属膜，通入反应气体可镀制化合物膜，如TIN、TIC等，膜层致密结合力好。在精密金属切削刀具表面强化及机械、电子等行业有着广泛的用途
仪器参数
在真空室的周围壁上共安装六只多弧源，弧靶材直径Ф100mm，顺次排布，靶材尺寸事先发给用户便于用户定做靶材，多弧源采用高频引弧方式。
工件转盘：
直径约Ф450mm，高约600mm，
转盘上装有六组工件自转轴，可随转盘公转并带动工件自转，转速可调
可对样品加热，从室温～300℃可控可调，加热器采用K装加热丝。
工件转盘尺寸满足设计要求，公转、自转可以无极调速，加热温度区间0-300℃；偏压：0~500V。
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