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直枪电子束物理气相沉积系统(Electron Beam Physical Vapor Deposition System)
同济大学
腾胜真空技术工程有限公司，定制
上海市
我们目前尚未与同济大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

采用电子束激发金属靶材，获得单层或多层金属薄膜。

仪器参数

真空室技术指标：
1）        尺寸：600*600*650
2）        材料：SUS304不锈钢
3）        结构：箱式前开门
4）        冷却方式：壳体水冷
5）        带观察窗，并且观察窗带护目镜
6）        屏蔽板1套，采用304不锈钢材料制造，方便拆卸、互换
7）        加热方式：采用上烘烤方式
蒸发源：直式电子枪，额定功率40kw（20kV,2A）
偏压电源：DC: 0至-100V,200W
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