扫描电子显微镜(-)
长沙理工大学
中科院仪器研究中心,KYKY-2800B
湖南省
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仪器参数

分辨率:4.5nm(钨丝阴极)  放大倍数:15X~250000X电子光学系统;电子枪:发叉式钨丝阴极,加速电压:0~30kV,透镜系统:三级电磁透镜物镜光阑:三个可在真空外选择调节样品室六个接口,可接WDS、EDS、BSE等探测器样品台,标准样品台位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm,T=-5°~+90°,R=360°,大样品台位移: X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,T= 0°~+90°,R=360°。
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