检测范围
可对金属、陶瓷、粉末及塑料等材料进行表面形貌、断口特征观察及其成分定性和定量分析,特别适用于纳米颗粒和粉末、纳米管及纳米线等纳米级尺寸样品的形貌表征;在低真空模式下可对导电性不好的材料进行形貌观察;在低加速电压模式下可对一些容易受电子束损伤的样品进行形貌
仪器参数
1) 分辨率:
高真空模式 1.0nm @ 15kV, 1.4nm @ 1kV;
低真空模式 1.5nm @ 10kV, 1.8nm @ 3kV;
背散射电子像 3.5nm @ 1kV;
2) 加速电压:200V~30kV,连续调节;
3) 束流范围:0.6pA~200nA,连续调节;
4)放大倍数:35x-900kx;
5)样品台移动范围:X=Y=100 mm;
6) 能谱仪的元素分析范围Be4-Pu94;
7) 能谱仪的分辨率:127eV。
仪器特色&服务特色
科研项目、论文,专利等。