| 高真空磁控与离子束溅射镀膜系统(High vacuum magnetron and ion beam sputtering coating system) | |||
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| 电子科技大学 | |||
| 中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司，FJL560L型|| ||极限真空6.6X10^-5Pa 离子束室：5X10－5Pa | |||
| 四川省 | |||
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