铁电薄膜溅射系统(Ferroelectric thin film sputtering system)
电子科技大学
ULVAC,MPS-5000-FCI|| ||极限真空:3x10^-5Pa 基片最高温度:700℃
四川省
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检测范围

溅射PZT薄膜

仪器参数

均匀溅射5寸PZT铁电薄膜  溅射相关类型的电极
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