等离子原子层沉积系统(PEALD)(Plasma atomic layer deposition system)
电子科技大学
Angstrom公司,Angstrom-Dep 2适用于六寸硅片等离子体增强原子层沉积和纳米颗粒的原子层沉积
四川省
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检测范围

半导体材料薄膜生长,薄膜器件制备

仪器参数

适用于六寸硅片等离子体增强原子层沉积和纳米颗粒的原子层沉积
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