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扫描电子显微镜(SEM)
华东师范大学
日立公司，日立S-4800
上海市
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检测范围

冷场发射扫描电镜S-4800可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区,亚微区成分定性和定量以及元素分布分析等。

仪器参数

二次电子分辨率:
1.0nm(15kV,WD≥4mm)
1.4nm(1kV,WD≥1.5mm)
放大倍率:
低倍模式×20~×2,000
高倍模式×100~×800,000
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