探针台(ProbeStation)
郑州大学
cascade公司,MPS150
河南省
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检测范围

配合矢量网络仪及半导体参数分析仪进行在片测试

仪器参数

1、载物台:尺寸:150MM,不锈钢。2、主载物台:晶圆尺寸:25M-150MM,移动范围:155*155MM,分辨率:5um3、平整度:
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