场发射扫描电子显微镜系统(Field emission scanning electron microscope system)
北京印刷学院
日立集团,Hitachi SU8020
北京市
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所有仪器

分析仪器

检测范围

广泛用于生物学、医学 、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。

仪器参数

二次电子分辨率 1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm)
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm)
加速电压 0.1~30kV
观测倍率 20~8000,000(底片输出)
60~2,000,000(显示器输出)
样品台
马达驱动 5轴 REGULUS样品台
行程 X 0~50mm 0~110mm
Y 0~50mm 0~110mm 0~80mm
Z 360°
T -5~70°
R 1.5~30mm 1.5~40mm
最大装载尺寸 100mm(最
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