检测范围
光致发光扫描系统可广泛应用于LED晶圆检测、托盘设计等领域。主要功能包括：LED晶圆发光均匀性检测；膜厚均匀性检测；托盘设计；晶圆PL荧光光谱对比。
仪器参数
激发光源：405nm激光器，最大输出功率100mW，功率连续可调； 适用于2、4、6英寸样品，可同时放置6块2英寸样品； 样品台X、Y定位150mm，分辨率0.5mm，定位精度0.1mm; PL荧光光谱探测范围：350-800nm 光谱分辨率：光谱分辨率≤0.3nm; 膜厚测试范围：1-19μm，膜厚分辨率：5%; 可单点光谱mapping、单波长mapping、峰值波长mapping、峰值强度mapping等多种模式扫描测量。
仪器特色&服务特色
东莞中嫁半导体材料有限公司LED晶圆检测
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