溅射镀膜仪(Sputter)
中国科学技术大学
Kurt J.Lesker Company,Lab 18
安徽省
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检测范围

氩原子电离后在电场的作用下,轰击靶材,将靶材元素沉积到样品表面,从而形成薄膜。

仪器参数

含射频电源和直流电源 样品尺寸:max 6英寸 真空度:10-7Torr 溅射靶材:Ti、Au、Pt、Al、Ag、Cu、Mo、Fe等 典型沉积速率:0.1A~10A/s 镀膜均匀性:优于±5%
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