分区压力闭环控制平台(Is improving)
清华大学
自制,Ⅱ型
北京市
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检测范围

可实现12英寸抛光头的分区压力控制、测试、监测。

仪器参数

12英寸抛光头,6区压力分布,压力控制范围0-15psi,精度<3%

仪器特色&服务特色

因为未对外开放,所以无
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