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铜膜厚度测试平台(Is improving)
清华大学
自研，MTD300-A01
北京市
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检测范围

该测量仪通过非接触式的方式进行厚度测量，采用高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻零机构，可适用于多种尺寸材料的测量，具有测量速度快、重复性好、对样品无损伤，操作便捷等特点。

仪器参数

该测量仪通过非接触式的方式进行厚度测量，采用高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻零机构，可适用于多种尺寸材料的测量，具有测量速度快、重复性好、对样品无损伤，操作便捷等特点。

仪器特色&服务特色

因为未对外开放，所以无
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