检测范围
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种使用非常方便快捷的测量仪器。可应用于半导体、微电子、物理、化学、生物等多个领域。可测半导体、有机
仪器参数
光谱范围：210-900mm；入射角：75度；精确度：9A on 1200A，N=+/-0.005 at 632.8nm；重复性：0.45A on 1200A，N=+/-0.002 at 632.8nm;样品厚度：10mm max。
仪器特色&服务特色
清华物理系、纳米中心
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