检测范围
原子力显微镜是通过针尖与被测样品之间的相互作用力得到样品表面的三维形貌结构及表面粗糙度并做出分析的设备，尤其可以针对纳米级尺度的结构进行精确的测量。其操作容易简便，是目前研究纳米科技和材料分析的最重要的工具之一。原子力显微镜不需要对样品做任何处理且不会造
仪器参数
XY方向扫描范围：90*90um，Z方向范围：6um，非线性<1%；XY方向闭环噪音水<1.8nm，XY开环方向噪音水平<1.2nm；Z方向系统噪音水平0.06nm,；横向分辨率：纳米级；垂直分辨率：0.1nm；样品台范围125mm*100mm。
仪器特色&服务特色
清华物理系、纳米中心
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