椭圆偏振光谱仪(Spectrum Ellipsometer)
西北工业大学
Horiba Jobin Yvon,UVISEL ER
陕西省
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分析仪器

检测范围

测试光学材料、半导体、电介质的光学常数(折射率、消光系数),单层/多层透明/弱吸收薄膜材料的厚度及光学常数,薄膜的表面界面层的拟合分析。

仪器参数

波长:190nm—2100nm;精度:1nm;
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