检测范围
仪器主要功能（Functions）：
(1)用离子束刻蚀、沉积(金属)纳米级线条和图形；
仪器参数
"电子束分辨率（Resolution）：3 nm@1 KV，
仪器特色&服务特色
“基于电子显微术与探针显微术的原位生长-动态表征-性能测量的方法及其在材料研究中的应用”“973研究计划”；
“石墨烯二维电子气的量子输运性质研究”“973”计划；
“LI-InGaN/InGaN复合阱结构对大功率LED效率骤降的改善研究”“973”计划；2007获国家自然科学二等奖，“功能准一维半导体纳米结构与物理研究”（俞大鹏，冯孙齐，徐军，薛增权）每年培训具有独立上机操作仪器的学生约30人,
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