标准球面干涉系统
浙江大学
CVI Melles Griot,09LTS 09LTS
浙江省
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检测范围

实现光学球面面形的测量。

仪器参数

1.口径: 4 英寸, 6英寸 2.标准波长:632.8nm (HeNe 激光) 3.球面波面形精度:λ/40 (透射球面),λ/50 (反射球面),λ/50 (反射平面), 4.球面波锥角: > 82°(F/0.75), 包含4英寸 F/0.75, F/1.5, F/2.2, F/5.0, F/7.2和F/15.4等和4英寸 F/3.3规格的标准透射球面  5.与Zygo标准干涉仪兼容 6.Z轴行程: 1米 7.样品台最大尺寸:6英寸(152mm)
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