深反应刻蚀机-测试100仪器共享平台

深反应刻蚀机
所在单位：	浙江大学
品牌/型号：	英国牛津仪器等离子技术公司，GBP3260 System100ICP180,高深宽比电感耦合型等离子增强
所在地区：	浙江省
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ALD原子层沉积系统

仪器介绍

检测范围

该系统使用了F基的刻蚀气体，具有Bosch工艺，适合于对硅材料进行大深宽比刻蚀。

仪器参数

激励电源：13.56MHz 1500W,AE公司；带匹配器和功率计1台。偏压电源：500W，带自动匹配器和功率计。带定时器1台。真空系统：620升/秒分子泵，8升/秒机械泵1台，带真空计。反应室尺寸：300mm。气路系统：6路进气，4个质量流量计，4路显示。可加工片子尺寸：4英寸。可双面氯基刻蚀。均匀性：5%（4英寸内）。

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