检测范围
应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构、内部电场或磁场以及与样品化学成分分布相关的，背散射电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，样品吸
仪器参数
1.分辨率 二次电子(SE)成像：高真空模式：30kV时 1.2 nm；1kV时 3.0nm 低真空模式：30kV时 1.5 nm；3kV时 3.0nm ESEM？环境真空模式: 30kV时 1.5 nm 背散射电子(BSE)成像：30kV时 2.5 nm 2.放大倍数 高真空模式: 12x - 1,000,000x 低真空模式: 12x - 1,000,000x 3.加速电压 200 V - 30 kV
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