双束场发射扫描电子显微镜系统-测试100仪器共享平台

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双束场发射扫描电子显微镜系统(crossbeam workstations)
所在单位：	重庆大学
品牌/型号：	德国Zeiss公司，Zeiss AURIGA
所在地区：	重庆市
仪器说明：	我们目前尚未与重庆大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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FIB/SEM双束系统是样品成像、改性、加工和实效分析的有效工具，可提供三维高分辨率的电子束成像，还可利用离子束在电子束的协调下进行材料的衬度成像和二次离子质谱成像。可用于材料、化工、微电子等相关研究领域。

1、场发射枪 2、FIB最大束流20nA，SEM分辨率1.1nm@20kv，FIB分辨率2.5nm@30kv 3、具有Pt气体沉积系统

每年服务科研项目30余项，包括国家自然科学基金项目、973项目等重大重点项目，发表论文60余篇。

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