磁控溅射系统
重庆大学
德国FHR公司,MS100X6-LMS100X6-L
重庆市
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检测范围

淀积金属薄膜电极、非金属层及压电薄膜材料

仪器参数

极限真空 :< 1 x 10-6 mbar漏率:< 3 x 10-7 mbar/s; 均匀性:95 mm 4”基片的Al淀积为±3%

仪器特色&服务特色

中国核物理研究院开关掩膜层制备、ICT线模卡掩膜层制备、清华大学功能薄膜材料制备等
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