光谱椭偏仪(Spectroscolic ellipsometer)
中山大学
Sentech Instrument,SE 800 PV
广东省
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检测范围

测量并计算得出薄膜特性

仪器参数

可测量光谱 范围300nm到900nm,测量光斑大小1mm到4mm,测量精度Psi小于0.02°Delta小于0.04°,可测量样品尺寸达到156mm×156mm
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