激光直写仪-测试100仪器共享平台

激光直写仪
所在单位：	海南大学
品牌/型号：	德国海德堡，uPG501
所在地区：	海南省
仪器说明：	我们目前尚未与海南大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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行业专用仪器

仪器介绍

检测范围

适用于微图形模板的设计和制作（比如可自行设计纳米小球图案），光罩的试制和直接进行描写的研究开发。精度高，可控性好。其功能涵盖光刻机的功能。

仪器参数

最小结构尺寸：1μm
地址网格[nm]： 100
刻写速度：50 mm2/min
边缘粗糙度 [3σ, nm]：120
线宽均匀度 [3σ, nm]： 200
对准精度[3σ, nm]：500
最大直写面积[mm x mm]：100 x 100
支持多种客户图形格式(DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL)

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