激光干涉仪系统
天津市电子仪表实验所
RENISHAW,XL-80
天津市
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检测范围

1.机床位置精度的检测及补偿,包括数控机床的定位精度和重复定位精度 2.坐标测量机的位置精度的检测及补偿,包括定位精度和重复定位精度 3机床转台分度精度的检测及自动补偿

仪器参数

线性测量距离:80米
线性测量精度:±0.5ppm
激光稳频精度:±0.05ppm
分辨率:0.1nm
最高移动速度:4m/sec
动态采集频率:50kHz

仪器特色&服务特色

我所使用激光干涉仪系统为中国航天科工集团三院第八三五八研究所提供了技术服务
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