脉冲激光沉积系统(PLD)
重庆大学
大连齐维科技发展有限公司,三腔体/10E-8Pa/
重庆市
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检测范围

利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段

仪器参数

真空腔室:*极限真空优于10-8Pa;直径不小于300mm;
基片尺寸2英寸;加热温度800摄氏度以上;
激光能量大于700mJ;
成膜不均匀性≤±5%,重复性优于±3%

仪器特色&服务特色

无(仪器在试运行阶段)
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