检测范围
电子背散射衍（EBSD）技术拓展了扫描电镜的应用范围，使其不仅能对材料进行形貌观察和成份分析，而且能够对材料晶体结构、粒取向等晶体学特征分析。实现诸如矿物相鉴定，变形机制研究确位错滑移系，显微构造定量化，变质过程研究，结晶学优选方位和约束化学微量取样等。
仪器参数
空间分辨率：0.1mm；角度分辨率 ：0.5度；采集和解析速：每秒106点；离样品点；离样品聚焦点的水平距离优于7mm，花样更清晰；加速电压3KV，束流小于500pA时可采集到花样；楔型探测器与能谱仪系统实现硬件和软件双重保证的一体化。
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