仪器参数
1）XY双向程序控制扫描平台，最大扫描范围：300mm*300mm；
2）精密光学编码定位控制，使得空间最小扫描步进/分辨率：小于2微米（XY双向）；
3）系统测试最大扫描速度：大于20mm/sec（XY方向）；
4）设备基于高精度MOS多光束二维阵列传感器技术，采用非接触测量方式，可通过单次扫描测试同时测试薄膜的XY轴向应力值；
5）曲率半径分辨率优于50km，平均曲率分辨率优于2×10-5 (1/m)；
6）薄膜曲率测试范围：2m-50km；
7）基于直径200mm的标准样片，在标准样片最大翘曲高（基
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