光刻胶涂布机
华南理工大学
suss Microtech,* *
广东省
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仪器参数

★1.可加工基板尺寸:200 mm×200 mm,100 mm×100 mm。玻璃基板厚度0.3-1.1 mm;
★2.工作时旋涂腔室必须是封闭的,与外界隔绝。避免有毒气体挥发,对人员造成伤害;
3.具备程序可控的废气排出系统,并能保证排放系统运行时不会影响涂胶的均匀性;
4.设备设计应该方便取放玻璃基板;
★5.涂胶转速:0-3000 rpm或更高;
★6.转速精度:
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