扫描电子显微镜
华南理工大学
CARL ZEISS SMT,EVo18 *
广东省
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仪器参数

主要参数:光学系统1.1、光源:钨灯丝。预对中式灯丝,灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦:具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑:三级可调物镜光阑。1.3、加速电压:200V-30kV,10V步进连续可调。1.4、图像电平移:±50?m。1.5、放大倍数:5×~1000,000×,连续可调。1.6、分辨率:高真空二次电子像<3.0nm(30kV);低真空背散射电子像<4.0nm(30kV)。1.7、探针电流范围:0.5 pA~5 μA,连续可调。1.8、聚焦工作距离:2mm~145mm。1.9、电
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