仪器参数
主要参数：光学系统1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑：三级可调物镜光阑。1.3、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。1.4、图像电平移：±50?m。1.5、放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。1.6、分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）。1.7、探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。1.8、聚焦工作距离：2mm~145mm。1.9、电
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