检测范围
通过其粗细只有一个原子大小的探针在非常近的距离上探索物体表面的情况，便可以分辨出其他显微镜无法分辨的极小尺度上的表面细节与特征。这种显微镜能以空前的高分辨率探测原子和分子的形状，确定物体的电、磁与机械特性，甚至能确定温度变化的情况。
仪器参数
1、XY扫描范围＞40um，
2、与XY独立分开的Z方向扫描器。最大扫描范围＞10um
3、扫描器分辨率：XY开环＜0.05nm，闭环＜0.7nm，Z扫描器：＜0.05nm
4、三轴之间无Bow效应,在原始数据上就可以准确测量三维纳米结构,无需软件Flatten处理，全范围扫描XY最大垂直起伏高度小于2nm
5、XY正交性＜1°，线性误差
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