等离子刻蚀机(ICP)
北京邮电大学
中科院微电子研究所,1600*1500*1470mm/ICP-98C
北京市
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检测范围

对Ⅲ-Ⅴ族材料进行等离子体刻蚀

仪器参数

均匀性:±5% (4英寸内)
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