二次离子质谱仪(Verbal-Quad)
埃文思材料科技(上海)有限公司
PHI,PHI 6600
上海市
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检测范围

检测半导体或非导体材料中杂质浓度及纵向分布

仪器参数

可以侦测所有元素检测限ppm-ppba纵向分辩率0.1nm
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