光电子能谱仪(-X-ray photoelectron spectrascopy)
上海师范大学
日本慎空,PH1500C
上海市
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分析仪器

检测范围

分析样品近表面(5nm)和本体的元素组成,化学态。对多种价态元素,可以自动分峰拟合,并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。

仪器参数

1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。2.通过Ar离子枪,可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV,元素含量分析最低值为千分之五。
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