聚焦离子束显微镜(Scanning Electron Microscope)
上海矽默半导体科技有限公司
FEI,FEI xl830/986-IET
上海市
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所有仪器

分析仪器

检测范围

对失效样品进行切片放大分析,可以修改电路走线,验证芯片功能。

仪器参数

高压系统:5kv-50kv,分辨率:0.1nm,离子源:GA离子,耗材:EE/IEE/IDEP/PT/W
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