半导体测试装置(semiconductor analysis)
上海理工大学
匠星科技,PB011
上海市
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检测范围

半导体材料、器件的I-V;C-V检测

仪器参数

不同温度下I-V测量,精度达到~nA级别;C-V测量,精度达到~pF级别;温度控制达0.5度
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