检测范围
广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。
仪器参数
Sirion场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析，可对晶体样品的晶粒取向和取向关系等进行分析，还可以获取的电压下薄样品的明/暗场扫描透射像。
主要附件：
超高强度Schottky场发射灯丝；
SE、TLD探测器；
CCD红外相机；
EDAX能谱仪；
取向成像电子显微分析系统（OMI/EBSP）；
扫描透射附件；
技术参数:
分辨率：1.5nm ( 10KV)；2.5nm (1KV)；3.5nm (500V)；
标样放大倍数：40倍～40万倍
加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调
倾斜角度：-10°～45°
EDAX能谱能量分辨率130eV，成分范围B~U，束斑影响区1μm左右
STEM附件可同时放置8个样品进行扫描透射观察，对低原子序数样品也可获得较好衬度的暗场像，特别适合高分子材料、生物材料的观察
OIM/EBSP分辨率达1300×1024以上，灰度4096，角度分辨率达0.5°以上，用来采集和分析扫描电镜中的电子背散射衍射花样，相鉴定数据库包揽七大晶系，功能十分强大。
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