检测范围
主要可用来对材料表面5nm范围内的元素及元素的化学态进行定性定量表征，并通过深度剖析的方法可以实现对材料在深度方向的化学组分分布进行研究。
样品要求
固体样品:不含挥发性组分，最小平面直径不小于650μm，最大平面直径不超过10mm，厚度不超过2mm
粉末样品:不含挥发性组分，超过10mg
具有磁性的样品须做出说明
仪器参数
1. 分析室真空度：5×10-10 mbar；
2. 最佳能量分辨率：0.43eV；
3. 最小空间分辨率：1μm；
4. Ag的3d5/2峰半峰宽为1eV时电子计数率可达4Mcps；
5. 检测器：双探测器设计，分别采用多通道电子倍增器进行获谱，采用二维微通道版探测器进行快速水平成像；
6. 带有紫外光电子能谱功能，当能量分辨率为100meV时，灵敏度可达1,000,000cps。
样品测试效果图
仪器特色&服务特色
可提供磁性材料XPS测试，Ar离子束刻蚀，XPS mapping，UPS测试；提供XPS分析软件，软件教程可供大家分析使用！
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