台阶仪 轮廓扫描/表面粗糙度扫描/翘曲度测量（Profilometer）

台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触，移动探针，测量接触力量的变化，调整探针的高度，从而得到样品的表面形貌。通过该测试，可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据，从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。 设备广泛应用于：触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量 ● 台阶轮廓扫描 ● 表面粗糙度扫描 ● 样品翘曲度测量

● 扫描长度： 50um-55mm  

   ● 垂直测量范围： 1mm  

   ● 台阶高度重现性5埃, 1σ 在1um台阶上  

   ● 垂直分辨率：最大1埃（6.5um范围）  

   ● 探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg  

   ● 探针曲率半径：0.2 um ，2um  

   ● 样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸

可提供专用的分析测试软件进行数据分析