X射线光电子能谱仪(XPS)
30-800
3个工作日
所在地区:
  • 陕西省
  • 江苏省
  • 广东省
检测项目:
  • XPS
  • UPS
  • 数据处理
  • 非磁性样品
  • 刻蚀
  • 表面分析
  • 弱磁性样品
检测条件:
  • 表面测试(6元素内)
  • 刻蚀
  • 磁性样品
  • mapping
  • 功函数+价带谱
  • XPS分峰拟合
  • 价带谱
  • 增加元素
  • 表面测试(含碳4元素内)
  • 时长30s
  • 4元素内
  • 消磁处理
  • 表面清理
  • 深度方向检测
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服务保障
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  • 品       牌: 美国ThermoFisher 型       号: Nexsa
  • 样品回收: 收费回寄 前置处理: 不支持样品处理
  • 检测项目:
    XPS、UPS、数据处理、非磁性样品、刻蚀、表面分析、弱磁性样品
  • 检测条件:
    表面测试(6元素内)、刻蚀、磁性样品、mapping、功函数+价带谱、XPS分峰拟合、价带谱、增加元素、表面测试(含碳4元素内)、时长30s、4元素内、消磁处理、表面清理、深度方向检测

检测范围

XPS因其独有的元素化学态识别功能,广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。

样品要求

1.样品在超高真空及X光照射下要稳定,不分解、不释放气体;
2.无腐蚀性、无挥发性、无磁性与放射性。
3.样品要充分干燥
4.样品表面要平整
5.不要用手触摸样品表面
粉末样品
        为防止粉末脱落,要求将粉末样品压成薄片,厚度为1mm左右。
薄膜样品
        做好正反面标记。
块状样品
        由于在实验过程中样品必须通过传递杆,穿过超高真空隔离阀,送进样品分析室。因此,样品的尺寸必须符合一定的大小规范,以利于真空进样。
        尺寸不超过:3×3×2mm3
2、含有挥发性物质的样品
        在样品进入真空系统前必须清除掉挥发性物质,可以通过将样品加热或溶剂清洗等方法;
3、表面有污染的样品
        在进入真空系统前必须用低碳溶剂如正己烷,丙酮等洗去样品表面的油污。最后再用乙醇或乙醚洗掉有机溶剂,再自然干燥。
4、带有微弱磁性的样品
        光电子带有负电荷,在磁场作用下由样品表面出射的光电子就会偏离接收角,最后不能到达分析器。
        此外,当样品的磁性很强时,会使分析器及样品架磁化。
        因此,绝对禁止带有磁性的样品进入分析室。
        一般对于具有弱磁性的样品,可以通过退磁的方法去掉样品的微弱磁性。
5、有机样品
        要确定该样品在真空中不再挥发,且能经得起X射线的辐照。
6、对X射线敏感的样品
        特别是光电材料在进入分析室正式录谱前,可能需用X射线辐照相当长的时间,使其表面的荷电稳定。
特别说明:
1、粉末样品请使用离心管装,不要用自封袋包装
2、有正反面的样品,请在背面标记'X'或者划痕标记

仪器参数

1、能量分辨率及灵敏度:
        能量分辨率≤0.5 eV
        在束斑大小为400 μm且光源功率≤80W的实验条件下,当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时,计数率≥4,000,000 cps
2、电子能量分析器:
        128通道微通道板探测器
        能量扫描范围5eV-3000eV,最小能量步长3meV
        通过能为1-400eV,连续可调
3、X光源:
        微聚焦单色化光源,聚焦可获得最小束斑≤10 ?m
        束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调,步长不超过5?m
        光源最大功率150W
4、样品台:
        多轴样品台:X、Y、Z 方向移动,围绕Z轴旋转,由计算机全自动控制
        最大测试样品厚度不小于20 mm
        样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台,用于系统自动标定
5、自动化电子/离子中和源:
        带有同源双束中和枪,同时具备电子和离子中和能力,且电子及离子来源于同一中和源,可实现自动化精准电荷中和,无需单独调试某一样品
6、离子枪:
        用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源,计算机控制,在低束能下保持高通量,自动校准束斑、能量等参数
        能量范围:≥4000 eV
        最大束流:4 ?A
        离子能量3 keV,束流3.5 ?A时束斑不大于500 ?m
        离子束可控轴向旋转
        束斑可调,自动对中
7、角分辨XPS:
        角分辨XPS用精控步进马达样品托,角度分辨优于1°
        内置角分辨XPS数据处理功能,能实现膜厚计算等功能

仪器特色&服务特色

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