电子探针显微分析仪(EPMA)
100-600
5个工作日
所在地区:
  • 安徽省
检测项目:
  • EPMA
检测条件:
  • 面扫
  • 线扫
  • 点扫-定性
  • 点扫-定量
  • 元素态分析
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分析仪器

  • 品       牌: 岛津 型       号: EPMA-8050G
  • 样品回收: 不支持样品回收 前置处理: 不支持样品处理
  • 检测项目:
    EPMA
  • 检测条件:
    面扫、线扫、点扫-定性、点扫-定量、元素态分析

检测范围

5B~92U元素定性、定量、线扫、面扫分析(波普功能)以及SEM的所有功能。为了有助于理解电子探针,同学们可以将它认为是一台EDS功能更为强大(灵敏度以及分辨率都超过EDS一个数量级,并且能对B、C、N、O、F超轻元素进行准确定量分析)的扫描电镜(EPMA同时也具备SEM各类功能)。

样品要求

送样要求大致与SEM类似,但稍有区别。定量样品尽量表面平整,粉末样品建议压片后送样(类似红外压片制样),粉末样品测mapping可根据自己需求选择铜片、硅片、云母片等作为基底,样品或基底面积建议小于5×5mm

仪器参数

主要参数:

1)二次电子像分辨率:≤ 3 nm(加速电压30 kV);

2)背散射电子像分辨率:≤ 20 nm(拓扑像、成分像);

3)电子枪:肖特基场发射电子枪;

4)加速电压:0.5~30 kV;

5)最大束流:≥3 μA;

6)束流稳定度:≤ ±0.3%/h (50 nA@10 kV);

7)图像放大倍数:40倍~400,000倍;

8)电子像的畸变:<3% (>400倍放大率);<5% (<400倍放大率);

9)分析元素:5B~92U;

10)分析精度:优于1%(主元素:含量>5%)和5%(次要元素:含量~1%);

11)波谱仪道数:5道(RAP/LSA200、LSA50/LSA70、PET/LiF、LiF/ADP、LSA80/LSA120);

12)分光晶体:全聚焦型晶体;

13)能谱仪:牛津80 m2

样品测试效果图

测试效果图 测试效果图 测试效果图

仪器特色&服务特色

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